U53系列減壓(ya)器适用于高(gāo)純氣體應用(yòng)，采用内部無(wu)螺紋、非焊☂️接(jie)膜片結構。膜(mo)片和閥體的(de)密封采用
了(le)硬密封的設(shè)
計，降低洩漏(lou)率，同時提高(gāo)了安全性和(hé)使用壽命。
結(jié)構特點
316L不鏽(xiu)鋼母體
膜片(piàn)式硬密封，洩(xiè)漏率低
可采(cai)用面闆安裝(zhuāng)和後座安裝(zhuang)
壓力表标準(zhun)連接：1/4" FRS(M), 可選1/4" FRS(F)
内(nèi)部電解抛光(guāng)
專爲高純淨(jing)應用生産制(zhì)造
高潔淨的(de)組裝和包裝(zhuang)适用于高潔(jie)淨度的半導(dǎo)體❄️行業💜
使用(yong)壽命長
100%氦氣(qi)測試
材質
母(mu)體：316L, Hastelloy®
閥座：PCTFE
膜片(piàn)：Elgiloy®, Hastelloy
上蓋：316, Hastelloy
®
功能特(tè)性
流量：Cv=0.054
母體(ti)洩漏率：2×10
-8 atm cc/sec He
閥座(zuo)洩漏率：4×10
-8 atm cc/sec He
設計(ji)驗證壓力：最(zui)大額定壓力(li)的150%
設計爆破(pò)壓力：最大額(é)定壓力的400%
工(gong)作條件
最大(dà)的入口壓力(lì)：300 psi (20 bar)
出口壓力：0~30 psi (2 bar)
溫(wen)度：-18℃~60℃ (0°F~140°F)
流道表面(mian)
标準：Ra 20 µin
内部容(róng)積
9.3 cc
