U22系列(liè)單級減壓(yā)器适用于(yu)高純氣體(ti)、非腐蝕性(xing)氣體、腐蝕(shi)💋性氣體和(hé)有毒氣體(ti)。膜片和閥(fá)體的密封(fēng)
采用了硬(yìng)密封
的設(she)計，降低洩(xiè)漏率，同時(shí)提高了安(ān)全性和使(shi)用壽🔴命。
結(jié)構特點
316L不(bú)鏽鋼母體(tǐ)
膜片式硬(yìng)密封，洩漏(lòu)率低
可采(cai)用面闆安(ān)裝和後座(zuò)安裝
壓力(li)表标準連(lián)接：1/4" FRS(M), 可選1/4" FRS(F)
内(nei)部電解抛(pāo)光
高潔淨(jìng)的組裝和(hé)包裝适用(yong)于高潔淨(jìng)度的半導(dǎo)體行業
使(shi)用壽命長(zhang)
100%氦氣測試(shi)
材質
母體(ti)：316L
閥座：PCTFE, Vespel®
膜片(piàn)：316L
上蓋：316
功能(néng)特性
流量(liang)：Cv=1.1
母體洩漏(lòu)率：2×10
-8 atm cc/sec He
閥座洩(xie)漏率：4×10
-8 atm cc/sec He
設計(jì)驗證壓力(li)：最大額定(dìng)壓力的150%
設(she)計爆破壓(ya)力：最大額(é)定壓力的(de)400%
工作條件(jiàn)
最大的入(ru)口壓力：500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)
出(chu)口壓力：0~25 psi (1.7 bar),0~50 psi (3bar), 0~100 psi (7 bar),0~250 psi (17 bar)
溫(wēn)度：-40℃~74℃ (-40°F~165°F)
流道表(biao)面
标準：Ra 20µin
可(kě)選：Ra 10µin
内部容(rong)積：22.6cc
