R21SL 系列(lie)膜片式減壓(yā)器，輸出壓力(lì)穩定，特别适(shì)用于氣體分(fen)析✍️儀器、各種(zhǒng)高純氣體、腐(fǔ)蝕性氣體
及(jí)有毒氣體。
結(jie)構特點
單級(ji)式減壓結構(gòu)
膜片與母體(tǐ)采用硬密封(fēng)形式
母體接(jie)口螺紋：1/4" NPT(F)
安全(quán)壓力：1.5 倍的最(zui)大輸入壓力(li)
适用溫度：-40°C ~ 74°C (-40°F ~ 165°F)
洩(xiè)漏率：2 x 10
-8 atm.cc/sec He
CV 值：0.14
重量(liàng)：0.9 kg (2.0 lbs)
材質
母體：316L
閥(fa)座：PCTFE, PTFE, Vespel
®
膜片：316L, Hastelloy
®
适用(yòng)範圍
半導體(ti)制程
實驗室(shi)
氣相分析
測(cè)試儀表
石油(yóu)化學工業
